中小型OLED検査に使用されるAOI（Automated Optical Inspection、自動光学検査）装置は、製品に光を照射し、反射される光量の差から欠陥の有無を確認する非接触検査装置である。AOI装置は繰り返されるパターンの比較によってその差を認知し、パターン不良を検出できるのみならず、Maskの異物とLLO（Laser Lift Off）工程の前後に基板の異物も検出できる。