1APシステム、重慶BOEのB12にELA装置の供給 09 3月 2020 /カテゴリ: フォーカス・オン BOEのB12ラインELA(eximer laser annealing)装置の入札でAPシステムが最終落札業者に選ばれた。ELAはOLED用LTPS(low temperature polysilicon)TFTを作るためには必要な装置である。eximer laserはa-Siをpolysiliconに結晶化させる。高い熱を加えずpolysiliconを製作するためLTPSと呼ぶ。