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APシステム、重慶BOEのB12にELA装置の供給

BOEのB12ラインELA(eximer laser annealing)装置の入札でAPシステムが最終落札業者に選ばれた。ELAはOLED用LTPS(low temperature polysilicon)TFTを作るためには必要な装置である。eximer laserはa-Siをpolysiliconに結晶化させる。高い熱を加えずpolysiliconを製作するためLTPSと呼ぶ。