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[UBIリサーチの上半期OLEDセミナー] GrapheneLab、メッキメタルマスクでppiの限界を越える

Graphene商用化技術企業である”GrapheneLab”でGrapheneを利用した800ppi以上のFMM製造が可能だと発表した。

6月23日、UBIリサーチが開催した「2022年上半期OLEDの決算セミナー」でGrapheneLabのグォンヨンドク代表は”2000年代序盤から始まったFMM技術は、初期にはplating方式には関心がなかったが、最近にはFMM製造技術トレンドがplating方式に変化している”と述べ、”2013年度以後にはplating方式のFMM製造技術に関る特許が多く出願されたし、高解像度で行くためには現在使用されているetching方式よりplating方式を適用することが容易である”と言及した。

さらに、クォン代表は”既存の限界があったetching方式FMMから脱してplating方式のFMMを適用した結果、同じ厚さで400ppiが限界だったetching方式に比べてplating方式では600ppi以上を実現した”と述べ、”Etched metal maskは深さ20um etchingをしたら点のように尖がりくなるINVARの構造によって8um長さのdead zoneが発生するが、plated metal maskのpattern platingの際にはdead zoneの発生がない”と発表した

最後にクォン代表は”MSAP electro forming技術のために薄い厚さの低い熱膨張係数が必要で、Platedされた試料を対象にTMAを利用して熱膨張係数を測定した結果3.1ppmまでに測定されており、熱処理をしていない状態では2.5ppmまで下がった”と強調して発表を終えた。